熱式質(zhì)量流量計(jì)是利用流體流過外熱源加熱的管道時產(chǎn)生的 溫度場變化來測量流體質(zhì)量流量，或利用加熱流體時流體溫度上升某一值所需的能量與流體質(zhì)量之間的關(guān)系來測量流體質(zhì)量流量的一種流量儀表。它具有壓損小，流量范圍度大，高精度，高重復(fù)性，高可靠性，體積小，易維護(hù)不易損壞等特點(diǎn)。
與其他形式的質(zhì)量流量計(jì)相比較，熱式質(zhì)量流量計(jì)能夠測量較低流速的微小流量。它的結(jié)構(gòu)中不存在可動部件，可靠性高。如無分流管的熱分布流量計(jì)沒有阻流元件，測量不會引起壓力損失；帶分流管的熱分布式或侵入式流量計(jì)雖有阻流件，但壓力損失很小。
熱式質(zhì)量流量計(jì)由傳感器和信號分析、處理與控制單元兩部分構(gòu)成。傳感器一部分測量溫度，而另一部分用于加熱。前者監(jiān)控實(shí)際過程溫度值；后者維持一恒定溫度值，使其總是高于實(shí)際過程溫度且與該過程溫度保持恒定的溫度差。氣體的質(zhì)量流量越大，冷卻效應(yīng)就越大，維持差分溫度所需的能量也就越大。因此，通過測量加熱器的能量便可得出被測氣體的質(zhì)量流量。
科威勒提供的FGM210熱式質(zhì)量流量計(jì)是采用*流量傳感器芯片，結(jié)合 32位高速數(shù)字處理電路、高精密算法以及注塑的旁通流道和本體設(shè)計(jì)，所開發(fā)的大量程、高可靠的傳感器微系統(tǒng)模組，具有低功耗(典型80mW)、大量程10-300SLM、快速響應(yīng)(典型5ms)等優(yōu)點(diǎn)。高性能流量傳感器芯片以及核心標(biāo)定算法技術(shù)，配合多種不同流道設(shè)計(jì)，具有可靠的長期穩(wěn)定性。
